Á¦Ç°¼Ò°³

½ºÆå½ºÄÚ¸®¾Æ´Â °í°´°ú Áø½ÉÀ» ³ª´©°í ½Å·Ú¸¦ ½×¾Æ°©´Ï´Ù.

SEM Àüó¸® Àåºñ

Á¦¸ñ ¼¼¹Ì¾È ¹Ì´Ï ±Û·Î¿ìµð½ºÂ÷Áö SMC-10G




¼¼¹Ì¾È ¹Ì´Ï ±Û·Î¿ìµð½ºÂ÷Áö SMC-10G


¼ö¿ë¼º ¹× ¼Ò¼ö¼º 󸮸¦ À§ÇØ ¼³°èµÈ ÄÄÆÑÆ®Çϸ鼭µµ °æÁ¦ÀûÀÎ ÇöóÁ ±Û·Î¿ìµð½ºÂ÷Áö ¸ðµ¨










Á¦Ç° Ư¡



  ¢Ã ÀüÀÚ ¹Ù´Ã ¹ëºê¸¦ Ȱ¿ëÇÑ ÀÚµ¿ ¾Ð·Â Á¦¾î :

        ÀÚµ¿ ¾Ð·Â Á¦¾î (APC)¿Í ÀüÀÚ ¹Ù´Ã ¹ëºê ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¹Ì¸® ¼³Á¤ÇÑ Áø°ø ¼öÁØÀ» ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô À¯ÁöÇÏ¿© ¾ÈÁ¤ÇÑ ÇöóÁ ȯ°æÀ»

        È®º¸ÇÕ´Ï´Ù.



  ¢Ã ´Ù¾çÇÑ ÀÛ¾÷ °Å¸® (WD) :

       »ç¿ëÀÚ´Â ´ë»ó¹°°ú »ùÇà °£ÀÇ °Å¸®¸¦ ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, 20-50mm ¹üÀ§ ³»¿¡¼­ ÀÛ¾÷ °Å¸®¸¦ Á¶Á¤ÇÏ¿© ƯÁ¤ ÀÀ¿ë ¿ä±¸ »çÇ׿¡

       Á¤¹ÐÇÏ°Ô ¸ÂÃâ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.



 ¢Ã ÀÚµ¿ Áø°ø º¸Á¸ :

       Á¾·á ½Ã ±ú²ýÇÏ°í ¿À¿°µÇÁö ¾ÊÀº ȯ°æÀ» À¯ÁöÇÔÀ¸·Î½á ¹ø°Å·Î¿î Á¾·á °æÇèÀ» Á¦°øÇϸç, ´ÙÀ½ »ç¿ëÀÚ¸¦ À§ÇÑ ½Å¼ÓÇϰí È¿À²ÀûÀÎ

       ½ÃÀÛÀ» ¿ëÀÌÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù.



  ¢Ã ¾ÈÁ¤ÇÑ ÀÌ¿ÂÈ­ Àü·ù :

        Áø°ø ¼öÁØÀÌ º¯µ¿ÇÏ´õ¶óµµ ¾ÈÁ¤ÇÑ ÀÌ¿ÂÈ­ Àü·ù¸¦ À¯ÁöÇÏ¿© ÄÚÆÃ ÇÁ·Î¼¼½º Àü¹Ý¿¡ °ÉÃÄ ½Å·Ú¼º ÀÖ°í ÀϰüµÈ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.



  ¢Ã »ç¿ëÀÚ Ä£È­ÀûÀÎ VENT/EVAC »ç¿ëÀÚ ÀÎÅÍÆäÀ̽º :

       ¼¼¹Ì¾ÈÀÇ Á÷°üÀûÀÎ VENT/EVAC »ç¿ëÀÚ ÀÎÅÍÆäÀ̽º´Â »ç¿ëÀÚ º¯°æ ¹× »ùÇà ±³È¯°ú °°Àº ÀÛ¾÷ Áß Áø°ø ¹× Åë±â °úÁ¤À» °£ÆíÇϰÔ

       Ã³¸®Çϸç ÀåºñÀÇ À¯¿ë¼ºÀ» Çâ»ó½Ã۴ ´ÙÀç´Ù´ÉÇÑ µ¥½Ã°ÔÀÌÅÍ ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù.





¼ö¿ë¼º/Ä£¼ö¼º ÅëÇÕ µà¾ó ±Û·Î¿ìµð½ºÂ÷Áö(GD) ½Ã½ºÅÛ





   

   ÀúÈñ Glow Discharge ½Ã½ºÅÛÀº ÇϳªÀÇ Á¦Ç°À¸·Î »ç¿ë °¡´É ÇÏÁö¸¸, µÎ°¡Áö ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϱâÀ§ÇØ ¼ö¿ë¼º ¹× ¼Ò¼ö¼º Ç¥¸é °³Á¶ÀÇ ´É·ÂÀ»

   È®ÀåÇϱâ À§ÇØ µÎ ½Ã½ºÅÛÀ» È®º¸ÇÏ´Â °ÍÀ» °­·ÂÈ÷ ±ÇÀåÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ ÅëÇÕÀº »ç¿ëÀÚ°¡ ƯÁ¤ ¿¬±¸ ¿ä±¸¿¡ ¸Â°Ô Á¶ÀýµÈ Á¤¹ÐÇÏ°í ´ÙÀç´Ù´ÉÇÑ

   Ç¥¸é 󸮸¦ ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µ½½À´Ï´Ù. ¼ö¿ë¼º ¹× ¼Ò¼ö¼º 󸮿¡ °¢°¢ Àü¿ë ½Ã½ºÅÛÀÌ ÀÖ´Â °æ¿ì °¢ ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ¿À¿°ÀÌ ¾øÀ½À» º¸ÀåÇÏ¿©

   ÃÖÀûÀÇ »ùÇà Áغñ¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ À¯¿¬¼ºÀ» ÅëÇØ »ùÇà Ư¼ºÀ» ÃÖÀûÈ­ÇÏ¿© ¿©·¯ ¿¬±¸ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼­ ºÎÂø, ¹æÇ⼺ ¹× ±âŸ ƯÁ¤

   ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.





±Ô°ÝÇ¥(Specification)







÷ºÎÆÄÀÏ