세미안 저진공 스퍼터 : SMC-12S(Rotary Pump Sputter)

자동 진공 및 이온화 제어가 갖춰진 편의성과 다재다능한 기능을 탑재한 경제적인 스퍼터 모델.

제품 특징

  정밀 두께 모니터링: 석영 결정 마이크로밸런스(QCM)를 사용하여 0.1nm 해상도로 실시간 두께 측정을 수행합니다.

  편리한 3축 샘플 스테이지: 3축 스테이지로 사용자의 편의성을 최대화하였습니다.

  맞춤형 진공 레벨: 정밀한 코팅 두께와 품질을 위한 구체적 요구 사항을 충족하기 위해 진공 레벨을 조절할 수 있습니다.

  직관적인 터치 컨트롤: LCD 터치 스크린으로 샘플 이동과 회전을 손쉽게 관리합니다.

  편리한 작업 거리: 조절 가능한 작업 거리(30mm에서 80mm까지)로 다양한 샘플 크기와 구성을 수용합니다

  자동 종료 버튼 기능: 자동 진공 보존으로 다음 사용자를 위한 깨끗하고 오염되지 않은 챔버 환경을 보장하여

  빠른 시작과 재현성이 높은 결과를  확인할 수 있습니다.

마그네트론 스퍼터링(Magnetron Sputtering)

      표적 열 손상 최소화

      세미안 RP 스퍼터는 마그네트론 방법을 사용하여 대상 물질의 열 손상을 최소화합니다.

  세미안은 제품 구매 시 표준 도넛 모양 PT 또는 AU 디스크 타겟(OD: 40mm/ID:19mm) 을 제공해드리고 있습니다.

  또한 세미안 제품의 스퍼터 헤드는 50mm에서 57mm까지 다양한 크기의 디스크 스퍼터링 타겟과 호환되어 

  스퍼터링 프로세스에서의 유연성을 향상시킵니다.

FTM과 샘플 테이블 결합 옵션

열 손상 최소화 및 FTM 정확성을 위한 자동 WD 조절 시스템

  ☞ 열 손상을 최소화하고 샘플 처리를 정밀하게 수행하기 위해 설계된 FTM 통합 스테이지 옵션을 경험해보세요.

        광범위하거나 열에 민감한 샘플 작업 시 스테이지는 자동으로 열적 WD(30mm에서 80mm까지)를 조절하여 열 손상을 최소화하고,

         코팅 완료 후에도 자동으로 원래 상태로 복귀합니다.

         정밀하게 디자인된 샘플과 FTM 옵션으로 필름의 정확성을 높이세요.

         통합된 스테이지 옵션은 FTM과의 원활한 이동을 보장하며 툴 팩터 조정이 필요하지 않도록 샘플과 FTM이 같이 움직이므로

         정확성을 보장합니다.   또한, 샘플 테이블의 각도를 0도와 30도 중 선택이 가능합니다.

규격표(SPECIFICATIONS)

https://youtu.be/eeoWjQM6ES4