세미안 미니 스퍼터 SMC-10S

 
  현존하는 모델 중 가장 작은 최소형의 MINI 스퍼터입니다.

  One Touch 전자동으로, 30초 이내에 진공 완료 후, 1분 이내에 코팅 완료가 가능합니다.

  글러브 박스 통합용 In&Out 포트를 통한 간편한 로딩이 가능하며 최소 공간 요구 공간은

   175x172mm입니다.

제품 특징

  최소의 공간에 용이하게 설치 가능 (중량 : 4kg)

  시료 장착 후 One Touch로 전과정을 자동으로 수행합니다.

 (진공 → 플라즈마 코팅 → Auto Venting )

  빠른 Evacuation 작동: OneTouch를 사용하여 1분 미만의 시간으로 진공 완료를 달성하며

 신속한 코팅 프로세스를 용이하게 합니다.마그네드론 방식으로 시료에

  열손상 없이 짧은 시간에 도전성 박막 형성이 가능.

  코팅 전류를 1mA에서 최대 30mA까지 조절이 가능하여, 부드러운 코팅과 두꺼운 박막 형성도 쉽게 가능합니다.

  RT 시료 스테이지: 0도에서 45도까지 기울기 조절 가능한 회전 모터 스테이지 (최대 30RPM)를 특징으로 하여

 샘플의 균일한 측면 코팅을 보장합니다.

  진공 후 자동 전원 Off 기능으로 Clean한 챔버 상태를 유지합니다.

  소형 및 경량 설계: 최소한의 크기와 무게로 설계되어 글러브 박스의 In-Out 포트를 통해 쉽게 설치할 수 있습니다.      (아르곤, 질소 환경에서 사용 가능)

  수분 및 산소 차단: 글러브 박스 내에서 스퍼터링을 수행하면 공기 중의 수분 및 산소의 영향을 제거하여 박막의

  순도와 품질을 향상 시킵니다.

규격표(Specification)